Бақылау сұрақтары:

1. Нанолитография дегеніміз не және оның негізгі мақсаты қандай?

2. Оптикалық литография қандай принципке негізделген және оның қандай түрлері бар?

3. Электрондық сәулелік литографияның артықшылықтары мен шектеулерін сипаттаңыз.

4. Сканерлеуші зонд литографиясы қандай негізгі әдістерді қамтиды?

5. Нанотаңбалы литографияның жұмыс істеу принципін түсіндіріңіз.

6. Литография процесінің негізгі кезеңдерін атаңыз.

7. Фоторезист дегеніміз не және ол қандай қасиеттерге ие болуы керек?

8. Фотоқабатты жағу әдістерін салыстырыңыз: центрифугалау мен аэрозольді бүрку.

9. Айқындау кезеңінде қандай физикалық-химиялық өзгерістер жүреді?

10. Вакуумды-плазмалық өңдеу әдісінің артықшылығы неде?